深圳激埃特光電有限公司
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碳化硼薄膜的激光法制備及性能...
發(fā)布時(shí)間
2013.08.20
本文采用KrF準(zhǔn)分子激光器,在Si,Ge光學(xué)襯底上制備了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材與襯底距...
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