平面加工工藝技術(shù)（下）

2016-10-07 admin1

5.雙面拋光法

雙面拋光法適用于平行度要求高的薄片,如石英波片、濾光片、平行平面窗等，行星式雙面研磨拋光機使用很廣泛,太多引進國外機床,國內(nèi)風(fēng)雷機械廠有這類機床產(chǎn)品. 通常上下拋光模用聚氨酯制造,中間工件隔離圈用聚四氟乙烯薄板或有機玻璃板、PVC板制造,利用工件在分離器孔的位置互換使工件的平行度得到修正,工件的平面性主要是拋光模的輪廓復(fù)印,要求高時仍要做微量修正，實際上,在二軸機上采用檔圈也可以實現(xiàn)雙面拋光,不僅可以加工平行平面,還可以加工小圓柱棒,圖九是二軸機雙面精磨與拋光示意圖。

濾光片

(三) 、計算機控制拋光與離子拋光

計算機控制拋光(CCP)是利用小拋光頭在工件上作局部拋修運動,邊檢邊修,再過幾個循環(huán),使平面達到很高的精度,離子拋光與CCP類似,把小拋光頭換成離子束就成了離子拋光,離子拋光不僅提高了面形精度,而且改善了表面粗糙度.計算機控制拋光在浙江大學(xué)、北京理工大學(xué)、長春光機所與成都光學(xué)工程中心等均先后開展這項研究工作,后者還從俄羅斯引進了CCP三軸與五軸拋光機,加工出不少高精度平面.離子拋光在國內(nèi)仍屬空白.圖十是浙大CCP實驗裝置與俄羅斯國立光學(xué)研究所的計算機上控制拋光機.

濾光片

圖十a(chǎn).浙江大學(xué)試驗裝置

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圖十b.俄羅斯國立光學(xué)研究所的計算機控制拋光機

(四) 、單點金剛石飛切光學(xué)平面

美國Pam&Pneumo Inc. 生產(chǎn)的MSG-325金剛石車床用飛切方法加工過ø170mm KDP晶體高精度平行平面,用作倍頻器;用飛切方法香港理工大學(xué)、云南光儀廠等單位的Nanoform300也可以實現(xiàn)平面的飛切.

我國為了解決270X270及310X310mmKDP平面加工問題，近年引進了俄國NCM-600立式飛切平面機床(圖十一)

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圖十一.NCM-600立式飛切平面機床

加工工件直徑可達ø550mm,其工作原理為單點金剛石飛刀高速旋轉(zhuǎn),形成一個圓的軌跡，工作的直線運動,使單點包絡(luò)成一個平面,平面的精度主要取決于機床運動的超精密度.主軸跳動:0.05ｕm，主軸剛性：200N/um，導(dǎo)軌的直線性0.1um/250mm,在這個機床上已經(jīng)加工出ø270KDP平面,透過波面達λ/2(PV)精度,在此基礎(chǔ)上我國將開始研制這種機床,技術(shù)指標(biāo)將超過MO-600的水平。

(五) 、棱鏡的大批量生產(chǎn)

對于等精度或低精度棱鏡的大批量生產(chǎn)通常都是成條加工完成拋光,然后用內(nèi)圓切割機割開,如棱鏡尺寸小時可以用高速排條鋸割開,一次可以同時切割多只棱鏡.棱鏡的精磨拋光可以用金屬夾具上盤,一個夾具可以加工一個面(圖十二)或三個面(圖十三).

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