美軍標關(guān)于光學表面疵病的說明

一.定義：

表面缺陷標準：依據(jù)美國軍用標準MIL-PRF-13830B用兩組數(shù)字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制劃痕大小，后者限制麻點大小。

道子、亮路都統(tǒng)稱為劃痕。

斑點、坑點、點子 都稱為麻點。

規(guī)定長與寬的比大于4：1的為劃痕；長與寬的比小于4：1的為麻點。

當元件的不同區(qū)域表面光潔度要求不一樣時，等效直徑的計算以區(qū)域進行：表面質(zhì)量要求高的內(nèi)區(qū)域其等效直徑以內(nèi)區(qū)域為準（如有效孔徑的區(qū)域），表面質(zhì)量要求低的外區(qū)域計算的是整體元件的等效直徑。

§美軍標規(guī)定對于非圓形元件其直徑取相等面積圓的直徑。

劃痕：

以美國軍用標準《MIL-O-13830》的表面質(zhì)量劃痕樣板作為各級數(shù)劃痕的比對標準。（注意：美軍標未指明劃痕的計量單位也即未確定劃痕的寬度和深度，只能以實際觀察樣版為標準。）

這里的劃痕級數(shù)就是通常的劃痕號數(shù)，標準樣版有10#、20#、40#、60#、80#  5個級。

§SC-QA027表面質(zhì)量標準共有7條劃痕判定標準，前5條是美軍標的規(guī)定，后兩條是公司內(nèi)控標準。以下逐條講解：

1.當元件的劃痕級數(shù)超過表面質(zhì)量要求的劃痕級數(shù)時，元件不合格。

例如：元件的表面質(zhì)量要求為60—40，則代表元件的劃痕必須≤60#，如果元件有＞60#的劃痕，則元件不合格。 

2.當元件的劃痕級數(shù)未超過表面質(zhì)量要求的級數(shù)，但元件存在最大劃痕時，所有最大劃痕的長度之和應不超過元件直徑的1/4。

例如：有一長30mm寬10mm的元件，元件的表面質(zhì)量要求為60—40，有2條60#長為3 mm劃痕。

     它的等效直徑為20mm

     1/4D為1/4×20=5mm

     最大劃痕的長度和為：

      3mm+3mm=6mm

     6mm>5mm元件最大劃痕的長度和超過元件直徑的1/4。所以元件不合格。

3.當元件存在最大劃痕，而最大劃痕的長度之和未超過1/4D，要求所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和，不得超過最大劃痕級數(shù)的一半。

例：有一長30mm寬10mm的元件，元件的表面質(zhì)量要求為60—40，元件上有2條2mm的60#劃痕，3條4mm的40#劃痕。

     它的等效直徑為20mm

       1/4D為1/4×20=5mm

      最大劃痕的長度和為：

        2mm+2mm=4mm

       4mm<5mm。符合2條。

但所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為：

1．60#劃痕長度為（2+2）；40#劃痕長度為（4+4+4+4）

2．60#劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比為60×（2+2）/20；

   40#劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比為40×（4+4+4+4）/20

3．所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為：

   [60×（2+2）/20]+[40×（4+4+4+4）/20=36

   元件最大劃痕級數(shù)為60；60的一半為60/2=30）36>30；因此，元件不合格。

4.當元件的劃痕級數(shù)未超過表面質(zhì)量要求的級數(shù)，且元件不存在最大劃痕時，所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和，不得超過最大劃痕級數(shù)。

例①：元件為Æ10，表面質(zhì)量指標60—40，有2條50#劃痕2mm，1條40#劃痕3mm，另2條40#劃痕2mm，2條20#劃痕2mm,10#劃痕長度合計10 mm。

所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為：

[50×（2+2）/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66

元件最大劃痕為60#    66>60；因此，元件不合格。

5.當元件質(zhì)量指標要求劃痕等級為20或優(yōu)于此等級時，元件表面不準有密集劃痕即在元件中任何一個Æ6.35mm面積的區(qū)域，不允許有4條或4條以上的大等于10#劃痕。

例：表面質(zhì)量指標為20-10，Æ20mm，

在如圖（1）所示的區(qū)或有2條長1mm

和2條長0.5mm的10#劃痕。

它符合5.1.1;5.1.4 （無需考慮5.1.2;5.1.3）

但它不符合5.1.5條。元件不合格。

6.對于圓形元件不允許有20#級數(shù)以上與直徑相等的劃痕。對于方形元件不允許有20#級數(shù)以上貫穿元件的劃痕。

麻點：

依據(jù)美國軍用標準MIL-PRF-13830B麻點的級數(shù)取允許缺陷的實際直徑，規(guī)定以1/100mm作為計量單位。如果麻點形狀不規(guī)則。則應取最大長度和最大寬度的平均值作為直徑。

（注意：美軍標的麻點與劃痕不同，麻點是可計量的也即麻點的大小是確定的，50#麻點也即直徑D=0.5mm的麻點）

1.當元件存在超過表面質(zhì)量要求的麻點級數(shù)時，元件不合格。

例：元件為Æ20mm，質(zhì)量指標要求為60—40，元件有1個直徑0.5mm的麻點       50>40元件不合格。

2.每20mm直徑上只允許有1個最大麻點。

例：元件為Æ20mm，質(zhì)量指標要求為60—40，元件有2個直徑0.4mm的麻點元件不合格

3.每20mm直徑上所有麻點直徑的總和不得超過最大麻點的2倍

例： 40mm×40mm的元件，質(zhì)量指標要求為60-40，其中一個Æ20mm的區(qū)域有40#點子一個，20#點子一個，10#點子一個，同時在另一個Æ20mm區(qū)域中，20#點子2個，10#點子4個，5#點子1個。

§4.當麻點質(zhì)量要求為10或更優(yōu)等級時，任何兩個麻點的間距必須大于1mm

例:元件40mm×40mm的元件，

質(zhì)量指標要求為20-10,

有兩個5#的點子，點子

之間的距離為0.8mm.

0.8mm<1mm元件不合格

§5.小于2.5um的麻點略去不計。

§6. 當出現(xiàn)如圖所示密集麻點時以麻點聚集的外圍圈徑為麻點大小

§氣泡和包絡(luò)：包絡(luò)當作氣泡考慮。

依據(jù)美國軍用標準MIL-PRF-13830B氣泡的級數(shù)與麻點一樣，單位也相同。不規(guī)則氣泡直也是取最大寬度和長度的平均值。

氣泡的允許值與麻點相同。但氣泡和包絡(luò)必須與麻點區(qū)分開來，單獨評價。