真空鍍膜技術(shù)的一般術(shù)語(yǔ)及工藝
1.1真空鍍膜vacuumcoating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。
1.2基片substrate：膜層承受體。
1.3試驗(yàn)基片testingsubstrate：在鍍膜開(kāi)始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和(或)試驗(yàn)的基片。
1.4鍍膜材料coatingmaterial：用來(lái)制取膜層的原材料。
1.5蒸發(fā)材料evaporationmaterial：在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。
1.6濺射材料sputteringmaterial：有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。
1.7膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial：組成膜層的材料。
1.8蒸發(fā)速率evaporationrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔
1.9濺射速率sputteringrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。
1.10沉積速率depositionrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。
1.11鍍膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。
2工藝
2.1真空蒸膜vacuumevaporationcoating：使鍍膜材料蒸發(fā)的真空鍍膜過(guò)程。
2.1.1同時(shí)蒸發(fā)simultaneousevaporation：用數(shù)個(gè)蒸發(fā)器把各種蒸發(fā)材料同時(shí)蒸鍍到基片上的真空蒸發(fā)。
2.1.2蒸發(fā)場(chǎng)蒸發(fā)evaporationfieldevaporation：由蒸發(fā)場(chǎng)同時(shí)蒸發(fā)的材料到基片上進(jìn)行蒸鍍的真空蒸發(fā)(此工藝應(yīng)用于大面積蒸發(fā)以獲得到理想的膜厚分布)。
2.1.3反應(yīng)性真空蒸發(fā)reactivevacuumevaporation：通過(guò)與氣體反應(yīng)獲得理想化學(xué)成分的膜層材料的真空蒸發(fā)。
2.1.4蒸發(fā)器中的反應(yīng)性真空蒸發(fā)reactivevacuumevaporationinevaporator：與蒸發(fā)器中各種蒸發(fā)材料反應(yīng),而獲得理想化學(xué)成分膜層材料的真空蒸發(fā)。
2.1.5直接加熱的蒸發(fā)directheatingevaporation：蒸發(fā)材料蒸發(fā)所必須的熱量是對(duì)蒸發(fā)材料(在坩堝中或不用坩堝)本身加熱的蒸發(fā)。
2.1.6感應(yīng)加熱蒸發(fā)inducedheatingevaporation：蒸發(fā)材料通過(guò)感應(yīng)渦流加熱的蒸發(fā)。
2.1.7電子束蒸發(fā)electronbeamevaporation：通過(guò)電子轟擊使蒸發(fā)材料加熱的蒸發(fā)。
2.1.8激光束蒸發(fā)laserbeamevaporation：通過(guò)激光束加熱蒸發(fā)材料的蒸發(fā)。
2.1.9間接加熱的蒸發(fā)indirectheatingevaporation：在加熱裝置(例如小舟形蒸發(fā)器,坩堝,燈絲,加熱板,加熱棒,螺旋線圈等)中使蒸發(fā)材料獲得蒸發(fā)所必須的熱量并通過(guò)熱傳導(dǎo)或熱輻射方式傳遞給蒸發(fā)材料的蒸發(fā)。
2.1.10閃蒸flashevaportion：將極少量的蒸發(fā)材料間斷地做瞬時(shí)的蒸發(fā)。
2.2真空濺射vacuumsputtering：在真空中，惰性氣體離子從靶表面上轟擊出原子(分子)或原子團(tuán)的過(guò)程。
2.2.1反應(yīng)性真空濺射reactivevacuumsputtering：通過(guò)與氣體的反應(yīng)獲得理想化學(xué)成分的膜層材料的真空濺射。
2.2.2偏壓濺射biassputtering：在濺射過(guò)程中，將偏壓施加于基片以及膜層的濺射。
2.2.3直流二級(jí)濺射directcurrentdiodesputtering：通過(guò)二個(gè)電極間的直流電壓，使氣體自持放電并把靶作為陰極的濺射。
2.2.4非對(duì)稱性交流濺射asymmtricalternatecurrentsputtering：通過(guò)二個(gè)電極間的非對(duì)稱性交流電壓，使氣體自持放電并把靶作為吸收較大正離子流的電極。
2.2.5高頻二極濺射highfrequencydiodesputtering：通過(guò)二個(gè)電極間的高頻電壓獲得高頻放電而使靶極獲得負(fù)電位的濺射。
2.2.6熱陰極直流濺射(三極型濺射)hotcathodedirectcurrentsputtering：借助于熱陰極和陽(yáng)極獲得非自持氣體放電，氣體放電所產(chǎn)生的離子，由在陽(yáng)極和陰極(靶)之間所施加的電壓加速而轟擊靶的濺射。
2.2.7熱陰極高頻濺射(三極型濺射)hotcathodehighfrequencysputtering：借助于熱陰極和陽(yáng)極獲得非自持氣體放電，氣體放電產(chǎn)生的離子，在靶表面負(fù)電位的作用下加速而轟擊靶的濺射。
2.2.8離子束濺射ionbeamsputtering：利用特殊的離子源獲得的離子束使靶的濺射。
2.2.9輝光放電清洗glowdischargecleaning：利用輝光放電原理，使基片以及膜層表面經(jīng)受氣體放電轟擊的清洗過(guò)程。
2.3物理氣相沉積;PVDphysicalvapordeposition：在真空狀態(tài)下，鍍膜材料經(jīng)蒸發(fā)或?yàn)R射等物理方法氣化，沉積到基片上的一種制取膜層的方法。
2.4化學(xué)氣相沉積;CVDchemicalvapordeposition：一定化學(xué)配比的反應(yīng)氣體，在特定激活條件下(通常是一定高的溫度)，通過(guò)氣相化學(xué)反應(yīng)生成新的膜層材料沉積到基片上制取膜層的一種方法。
2.5磁控濺射magnetronsputtering：借助于靶表面上形成的正交電磁場(chǎng)，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域，來(lái)增強(qiáng)電離效率，增加離子密度和能量，因而可在低電壓，大電流下取得很高濺射速率。
2.6等離子體化學(xué)氣相沉積;PCVDplasmachemistryvapordeposition：通過(guò)放電產(chǎn)生的等離子體促進(jìn)氣相化學(xué)反應(yīng)，在低溫下，在基片上制取膜層的一種方法。
2.7空心陰極離子鍍HCDhollowcathodedischargedeposition：利用空心陰極發(fā)射大量的電子束，使坩堝內(nèi)鍍膜材料蒸發(fā)并電離，在基片上的負(fù)偏壓作用下，離子具有較大能量，沉積在基片表面上的一種鍍膜方法。
2.8電弧離子鍍arcdischargedeposition：以鍍膜材料作為靶極，借助于觸發(fā)裝置，使靶表面產(chǎn)生弧光放電，鍍膜材料在電弧作用下，產(chǎn)生無(wú)熔池蒸發(fā)并沉積在基片上的一種真空鍍膜方法。
3專(zhuān)用部件
3.1鍍膜室coatingchamber：真空鍍膜設(shè)備中實(shí)施實(shí)際鍍膜過(guò)程的部件
3.2蒸發(fā)器裝置evaporatordevice：真空鍍膜設(shè)備中包括蒸發(fā)器和全部為其工作所需要的裝置(例如電能供給、供料和冷卻裝置等)在內(nèi)的部件。
3.3蒸發(fā)器evaporator：蒸發(fā)直接在其內(nèi)進(jìn)行蒸發(fā)的裝置,例如小舟形蒸發(fā)器,坩堝,燈絲,加熱板,加熱棒,螺旋線圈等等,必要時(shí)還包括蒸發(fā)材料本身。
3.4直接加熱式蒸發(fā)器evaporatorbydirectheat：蒸發(fā)材料本身被加熱的蒸發(fā)器。
3.5間接加熱式蒸發(fā)器evaporatorbyindirectheat：蒸發(fā)材料通過(guò)熱傳導(dǎo)或熱輻射被加熱的蒸發(fā)器。
3.6蒸發(fā)場(chǎng)evaporationfield：由數(shù)個(gè)排列的蒸發(fā)器加熱相同蒸發(fā)材料形成的場(chǎng)。
3.7濺射裝置sputteringdevice：包括靶和濺射所必要的輔助裝置(例如供電裝置,氣體導(dǎo)入裝置等)在內(nèi)的真空濺射設(shè)備的部件。
3.8靶target：用粒子轟擊的面。本標(biāo)準(zhǔn)中靶的意義就是濺射裝置中由濺射材料所組成的電極。
3.9擋板shutter：用來(lái)在時(shí)間上和(或)空間上限制鍍膜并借此能達(dá)到一定膜厚分布的裝置。擋板可以是固定的也可以是活動(dòng)的。
3.10時(shí)控?fù)醢錿imingshutter：在時(shí)間上能用來(lái)限制鍍膜,因此從鍍膜的開(kāi)始、中斷到結(jié)束都能按規(guī)定時(shí)刻進(jìn)行的裝置。
3.11掩膜mask：用來(lái)遮蓋部分基片,在空間上能限制鍍膜的裝置。
3.12基片支架substrateholder：可直接夾持基片的裝置,例如夾持裝置,框架和類(lèi)似的夾持器具。
3.13夾緊裝置clamp：在鍍膜設(shè)備中用或不用基片支架支承一個(gè)基片或幾個(gè)基片的裝置,例如夾盤(pán),夾鼓,球形夾罩,夾籃等。夾緊裝置可以是固定的或活動(dòng)的(旋轉(zhuǎn)架,行星齒輪系等)。
3.14換向裝置reversingdevice：在真空鍍膜設(shè)備中,不打開(kāi)設(shè)備能將基片、試驗(yàn)玻璃或掩膜放到理想位置上的裝置(基片換向器,試驗(yàn)玻璃換向器,掩膜換向器)。
3.15基片加熱裝置substrateheatingdevice：在真空鍍膜設(shè)備中,通過(guò)加熱能使一個(gè)基片或幾個(gè)基片達(dá)到理想溫度的裝置。
3.16基片冷卻裝置substratecoldingdevice：在真空鍍膜設(shè)備中,通過(guò)冷卻能使一個(gè)基片或幾個(gè)基片達(dá)到理想溫度的裝置。
4真空鍍膜設(shè)備
4.1真空鍍膜設(shè)備vacuumcoatingplant：在真空狀態(tài)下制取膜層的設(shè)備。
4.1.1真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備vacuumevaporationcoatingplant：借助于蒸發(fā)進(jìn)行真空鍍膜的設(shè)備。
4.1.2真空濺射鍍膜設(shè)備vacuumsputteringcoatingplant：借助于真空濺射進(jìn)行真空鍍膜的設(shè)備。
4.2連續(xù)鍍膜設(shè)備continuouscoatingplant：被鍍膜物件(單件或帶材)連續(xù)地從大氣壓經(jīng)過(guò)壓力梯段進(jìn)入到一個(gè)或數(shù)個(gè)鍍膜室，再經(jīng)過(guò)相應(yīng)的壓力梯段，繼續(xù)離開(kāi)設(shè)備的連續(xù)式鍍膜設(shè)備。
4.3半連續(xù)鍍膜設(shè)備semi-continuouscoatingplant：被鍍物件通過(guò)閘門(mén)送進(jìn)鍍膜室并從鍍膜室取出的真空鍍膜設(shè)備。